微型動態(tài)壓力傳感器有什么技術(shù)特點？動態(tài)特性了解嗎？

來源：南京愛爾傳感發(fā)布時間：2020-06-05 12:10 瀏覽量：

　　大家對微型動態(tài)壓力傳感器的了解有多少?該傳感器是一種用于風(fēng)洞、發(fā)動機(jī)等測試部門測量壓力的設(shè)備，它采用金絲引線焊接，再用不銹鋼外殼微型封裝，這是一個比較明顯的特點。為什么會使用它比較多呢，主要還是因為它的體積小，可以放在很多其它傳感器放不了的地方，那么大家對微型動態(tài)壓力傳感器的技術(shù)特點及動態(tài)特性有多少了解呢?不清楚的話，就讓小編來為大家詳細(xì)的介紹一下吧，感興趣的朋友可以看一看。

　　微型動態(tài)壓力傳感器的技術(shù)特點：

　　小體積是其區(qū)別于一般工業(yè)、民用壓力傳感器的一個特點。這是由它的應(yīng)用場合決定的特性，在模型試驗、流場壓力測量、風(fēng)洞實驗、爆破、水利縮模實驗等應(yīng)用中，必須采用盡可能小的安裝尺寸和外形，通用的隔膜壓力傳感器，如電容式、充油的隔膜壓阻傳感器因其探頭尺寸最小也在25mm左右，長度60mm，這樣的尺寸對于上述應(yīng)用已無法滿足。

　　目前實驗中常用的硅壓阻式微型壓力傳感器，因其敏感元件尺寸小，利于微型化，長寬約1.5-4mm的圓形或方形單晶硅芯片經(jīng)過真空鍵合，金絲引線焊接，再用不銹鋼外殼微型封裝，經(jīng)過溫度補(bǔ)償和各項指標(biāo)篩選，可以得到直徑3--8mm,長度15-30mm的微型結(jié)構(gòu)尺寸，一般采用M5--M8的安裝螺紋。是目前應(yīng)用比較普遍的微型壓力傳感器。

　　微型動態(tài)壓力傳感器的動態(tài)特性：

　　動態(tài)壓力傳感器目前主要有壓電式傳感器、應(yīng)變式傳感器、硅壓阻式壓力傳感器三大類，壓電式傳感器是高頻測量效果最佳的傳感器，應(yīng)變式動態(tài)響應(yīng)稍差，前兩者均不易做到5mm以下微型化，而硅壓阻式壓力傳感器動態(tài)性能好，同時容易實現(xiàn)微型化封裝，具有廣泛的應(yīng)用前景。

　　硅壓阻式壓力傳感器的動態(tài)性能主要取決于其芯片的設(shè)計原理和生產(chǎn)工藝，動態(tài)壓力傳感器在芯片的設(shè)計和制造工藝上對動態(tài)指標(biāo)進(jìn)行了優(yōu)化，這與普通工業(yè)用的傳感器芯片是不一樣的。